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人民財訊10月5日電，沈陽新松機器人自動化股份有限公司已擁有在真空類晶圓傳輸和大氣類晶圓傳輸系列產品的完全自主知識產權，自主攻克的新一代真空機械手技術，性能對標國外先進產品，技術指標從比肩國際同類產品到實現部分指標的成功超越，能夠為世界各地的半導體設備供應商提供高效和可靠的自動化解決方案。

公司為獨立發展半導體裝備業務，于2023年成立了沈陽新松半導體設備有限公司（簡稱“新松半導體公司”），新松半導體公司打造了擁有完全自主知識產權的自動化核心系列產品，產品包括大氣機械手、真空機械手系列、EFEM、真空傳輸平臺，可廣泛服務于硅片生產、晶圓加工、先進封裝及封裝測試等半導體制造全產業鏈，為客戶產業鏈及供應鏈安全的穩定提供多元保障。

目前：（1）兩軸、三軸真空直驅機械手產品全面導入終端FAB廠，已邁入先進制程產線示范應用階段；四軸真空直驅機械手已完成自主研發。（2）真空傳輸平臺系列產品，包括真空直驅機械手、真空裝載機（VPH）、真空預對準機（ALIGNER）已通過工藝設備廠客戶端驗證后隨其批量導入FAB廠應用。（3）大氣類產品方面，目前設備前端模塊（EFEM）、大氣機械手已全面導入市場量產應用。（4）零部件方面，集成產品包括立式爐，以及大氣aligner、LOADPORT所組成的EFEM產品等已開始模塊化及標準化定型，將逐漸實現由核心零部件到集成產品的標準化。