近日,總投資120億元的安徽晶鎂光罩在合肥高新區正式開工。
該項目位于復興路與火龍地路交口東南角,用地面積約45.6畝,聚焦28nm及以上半導體光罩的研發、生產和銷售等。據合肥發布介紹,本次開工的一期項目將建設全新的高標準自動化產線,預計2027年投產,滿產后月產能可達3200片。
項目建成后,將有效緩解國內高端光罩長期依賴進口的局面,提升產業鏈國產化水平,強化自主可控能力。目前,安徽晶鎂光罩半導體高端光罩(一期)項目已成功入選安徽省2025年重點項目清單(第二批)。
資料顯示,安徽晶鎂光罩是晶合集成孵化企業,著力布局集成電路產業發展,推動“鏈主企業”產業升級,已擁有一條成熟產線,并于2024年7月成功實現省內首片光罩下線,同年10月實現首批光罩產品下線量產。
近年來,我國半導體產業快速發展,光刻掩模版(簡稱“光罩”)作為半導體制造中光刻工藝的核心圖形母版,是集成電路制造的關鍵材料之一,其重要性日益凸顯,且市場對高性能、高精度光刻掩模版的需求持續增長。
2022年,晶合集成開始建設光罩生產線項目。2024年7月,晶合集成生產出安徽省首片半導體光刻掩模版,填補了安徽省在該領域的空白。
今年7月底,晶合集成發布公告稱,擬將光罩業務從公司的現有業務中劃分出來獨立運營,并引入外部投資者,與關聯方共同規劃設立安徽晶鎂光罩建設光罩生產線,專注于28nm及以上工藝節點半導體光罩生產制造。
因建設光罩生產線資金投入高,公司擬與合肥國投、合肥建翔、晶匯創芯、青島高信、晶匯聚芯及合肥晶冠等投資者共同向安徽晶鎂進行增資,各投資者以1.00元/注冊資本的價格合計增資11.95億元。其中,公司擬以貨幣方式認繳2億元,資金來源于公司的自有及自籌資金。交易完成后,公司將直接持有安徽晶鎂16.67%股權。
“此舉旨在更好地把握光罩業務市場機遇,擴大現有光罩業務生產規模,進一步增強上游供應鏈的穩定性及產業協同性;同時,既有利于光罩業務以獨立主體身份靈活對接和承接外部客戶訂單,提升市場競爭力以實現高質量發展。”晶合集成彼時表示。