中國基金報
天心
2025-10-27 14:43
光刻膠概念27日盤中大幅拉升，截至發稿，晶瑞電材20%漲停，迦南科技、南大光電漲超13%，艾森股份漲逾12%，格林達、彤程新材亦漲停。
消息面上，我國首個EUV光刻膠標準立項。國家標準委網站顯示，我國首個EUV光刻膠標準——《極紫外（EUV）光刻膠測試方法》作為擬立項標準，10月23日開始公示，截止時間為11月22日。標準的起草單位包括上海大學、張江國家實驗室、上海華力集成電路制造有限公司、上海微電子裝備（集團）股份有限公司。
此外，我國光刻膠領域取得新突破。近日，北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術，首次在原位狀態下解析了光刻膠分子在液相環境中的微觀三維結構、界面分布與纏結行為，指導開發出可顯著減少光刻缺陷的產業化方案。相關論文近日刊發于《自然·通訊》。
銀河證券指出，該方案首次在原位狀態下解析了光刻膠分子在液相環境中的微觀三維結構、界面分布與纏結行為，當前光刻技術是推動集成電路芯片制程工藝持續微縮的核心驅動力之一。彭海琳表示，冷凍電子斷層掃描技術為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結構與微觀行為，可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關鍵工藝的缺陷控制與良率提升。據銳觀產業研究院報告，2024年我國光刻膠市場規模增長至114億元以上，預計2025年光刻膠市場規模可達123億元。
該機構認為，光刻膠作為半導體、印制電路板、平板顯示等行業的基礎材料，其技術進步可以促進相關產業鏈的協同發展，上游材料供應商、設備制造商，中游光刻膠生產企業，以及下游光刻膠產品應用企業都能從中受益。
